仪器名称：超高真空磁控与粒子束联合溅射设备 | 固资编号: 12005715 | |
制造厂商 | 中国科学院沈阳科学 仪器股份有限公司 |
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型号 | FJL560 | |
管理人员 | 李老师 | |
联系电话 | 18846129184 | |
主要功能 | 镀膜 | |
性能指标 | 1.系统极限真空：磁控溅射室：系统经烘烤后连续抽气，可达4.0x10-5Pa； 离子束溅射室经烘烤后连续抽气，可达6.6x10-5Pa； 2.系统真空捡漏率：≤5.0x10-7Pa/s；3.系统漏率：停泵关机12h后，真空度≤9Pa | |
测试样品要求 | 保证样品表面清洁 | |
放置地点 | 一校区明德楼A701 | |
平台内收费标准 | 镀膜200/时 | |
校内用户收费标准 | 镀膜300/时 | |
校外用户收费标准 | 镀膜400/时 | |
